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做生意的十大禁忌磁控溅射铁磁性靶材的主要方法-PVD镀膜
0/188 Views 2018-07-28 20:19:18 | admin | 全部文章
磁控溅射铁磁性靶材的主要方法-PVD镀膜由于磁控溅射铁磁性靶材的难点是靶材表面的磁场达不到正常磁控溅射时要求的磁场强度，因此解决的思路是增加铁磁性靶材表面剩磁的强度王峰军，以达到正常溅射工作对靶材表面磁场大小的要求。实现的途径主要有以下几种：a、靶材设计与改进b、增强磁控溅射阴极的磁场c、降低靶材的导磁率d、设计新的磁控溅射系统e、设计新的溅射阴极装置f、靶材与溅射阴极装置的综合设计(1)靶材的设计改进将铁磁性靶材的厚度减薄是解决磁控溅射铁磁材料靶材的最...More »
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